Webmin SSL Fehler bei Firefox

Hallo zusammen,
ich habe das Zertifikat für meinen Webmin erneuert. Seither erhalte ich mit Firefox 38.0.1 folgende Fehlermeldung:

Fehlerhaft formatierte DER-verschlüsselte Nachricht. (Fehlercode: sec_error_bad_der)

Das alte Zertifikat war SHA1, das neue ist SHA256. Bei einem anderen Server mit einen SHA256 läuft Firefox.

Hat jemand eine Idee was ich tun kann?

CU
hawe